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水晶発振式水分計の原理

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水晶発振式水分測定テクノロジー

(クリスタル・クォーツ・テクノロジー)

ウェストン・エアロスペース社(旧ソラトロン社)製円筒振動式圧力センサーは、 受圧素子である円筒が、一定の電位下において固有周波数で振動している状態で外部圧力の変化によりその振動周波数が変化する現象から、圧力の変化が振動周波数の変化として検出される原理を利用したものです。

このバイブレーティング・シリンダ型圧力センサーは航空機産業において永年の実績を誇り、殆どあらゆるADTSにおいて使用されています。

水分計測におけるクオーツ・クリスタル・マイクロバランス(Quartz Crystal Microbalance―QCM )技術は、 水分に感度を持つポリマーコートされた水晶発振子(Quartz Crystal)の発振周波数変化をモニタすることをベースとしています。 コーティングされた水晶の表面印吸着された水分は水晶の有効質量を増加させ発振周波数を減少させ、これは水の蒸発圧力と直接比例しています。 この吸着プロセスは長期ドリフトが無く完全に復元性があり高い信頼性と再現性をもたらします。 トレース・レベルでの高速応答性は、適切にポリマー・コーティングされた表面からの水分吸着と発散により実現します。

センサー・クリスタルへの外部からの影響(温度や経時変化等)を補償するために、センシング・チャンバー内に2つのクリスタル・センサーがセットされています。 1つは、ポリマー・コーティングされたセンシング・クリスタルで、もう一方はコーティングのされていないリファレンス・クリスタルです。 2つとも測定媒体ガスに曝されるため、ガス中の水分含有量の他の要素(ガス中の温度、クリスタル自身のエージング・ドリフト)の影響が発振周波数の差となって現れ、これを精密に計測・補償することにより高性能で安定した測定を可能としています。 更に内蔵のWet/Dry発生器で定期的に自動校正をかけることにより、長期的にも信頼性の高い水分計測を実現します。

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